半導體與光電製程及設備
內容描述
本書 總共分成四大篇，分別是第一篇半導體製程與設備、第二章液晶平面顯示器製程與設備、第三篇結晶矽太陽能光伏製程與設備、第四篇發光二極體製程與設備，每一篇都包含四個章節，全書共十六章。
薄膜電晶體液晶顯示器、太陽能電池與發光二極體是台灣三大重要的光電產品，然而業界的製程分工細密，就算是已在線上的從業人員，想要一窺產品的製造全貌也並非易事。因此，有志於了解整體製程或相關設備的工程師，熟讀本書後很多疑問就能迎刃而解。
本書除了可作為現職從事人員的參考書外，更是適用於計畫往這三方面發展學生的面試前必備教材。
目錄大綱
第一篇 基礎半導體製程與設備
第1章 真空與電漿
第2章 薄膜沈積技術與設備
第3章 微影技術與設備
第4章 蝕刻技術與設備
第二篇 液晶顯示器原理與製程
第5章 液晶顯示器概論
第6章 TFT-LCD顯示模態及運作原理
第7章 TFT-LCD製程
第8章 TFT-LCD新技術
第三篇 結晶矽太陽能光伏製程與設備
第9章 太陽能光伏緒論
第10章 矽基板製備
第11章 結晶矽太陽能光伏製程技術
第12章 新型高轉換效率電池技術發展
第四篇 發光二極體製程與設備
第13章 發光二極體概論
第14章 藍寶石基板製備
第15章 發光二極體磊晶與製程技術
第16章 發光二極體新技術
