電子材料
內容描述
本書具有下列四個特色：
電子材料包括範圍很廣，材料結構、材料物理或化學、半導體、超導體、液晶顯示器、薄膜電晶體、積體光學、全像術、微機電、醫工、感測器等等·本書專注半導體一個領域。重點在製造半導體元件所用的各種材料；長晶材料、晶圓製程材料、製程用材料、機器設備用材料、無塵室和廠務設施用材料、封裝材料等，本書均有詳盡的敘述。編著者十幾年來一直在從事半導體相關的教學、收集了不少寶貴的資料。以將近一年的時間編著了這本電子材料，祈望能給想從事半導體製造的同學們一項內容豐富、有力的教科書，業界工程師、研究生、教授老師們一項便捷的參考。
目錄：
第一章 矽和化合物半導體第二章 微影照像用材料第三章 摻質材料第四章 介電質材料第五章 清洗材料第六章 蝕刻材料第七章 金屬製程和材料第八章 無塵室用材料第九章 純水處理材料第十章 廢水廢氣處理用材料第十一章 封裝和材料第十二章 厚膜和混成電路用材料第十三章 奈料材料
